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文献和实验
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保修期 ：1
Diener 等离子清洗机 Zepto特点：
· 低压等离子系统，用于不同材料表面的处理
· 配置自动/手动模式，实现控制高机能
· 经济型等离子清洗机，小型腔体
· 适合于研究院、高校、研发中心使用
· 操作简单易使用
Diener 等离子清洗机 Zepto规格：
| 型号 |
ZEPTO |
ZEPTO PCCE |
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| 控制系统 |
手动控制 |
PCCE 控制系统 |
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| 工艺气路 |
双路气体 |
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| 工艺气体 |
O2，Ar，N2，CO2，H2，Air等 |
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| 单体导入 |
H2O等单体（选配） |
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| 流量计 |
针阀流量计 |
MFC流量计 |
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| 真空 腔体 |
材质 |
高硼硅玻璃腔体，盖子门带观察窗(石英，铰链门选配) |
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| 内尺寸(Dia.×D) |
105mm×300mm |
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| 容积 |
2.6L |
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| 电极 |
360度外置环绕电极 |
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| 发生器 |
40KHz 0~100 W/13.56MHz 0~50 W,0~300 W |
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| 真空压力计 |
指针式压力计（选购） |
皮拉尼数字式压力计 |
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| 计时器 |
旋钮式（选购） |
数字式 |
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| 托盘 |
高硼硅玻璃（石英选配） |
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| 外形尺寸（WXDxH）mm |
425x450x185 |
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| 电源 |
AC220V 50Hz 10A |
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| 真空泵 |
排气速度4m3/H |
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上海尔迪仪器科技有限公司
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