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文献和实验
ICSPI通过整合机电一体化系统，将传统AFM集成到 一个CMOS芯片上，设计生产出世界首款单芯片动态 原子力显微镜（Single-Chip Dynamic Atomic Force Microscope）nGauge：更小、更快、更强！nGauge集成化原子力显微镜功能强大，操作简便， 环境适应性极强；具有卓越的振动免疫性，更少的漂 移，极具性价比。
产品概述和特点
集成热压阻共振悬臂梁，尖端可变换，成像时间 少于1分钟（无需激光对准）；
热距离传感器可在数秒内自动化完成针尖靠近；
热电MEMS驱动器高精移动悬臂针尖，具有低漂 移，适应长时成像实验；
系统高度集成小巧，具有极强的振动免疫性，可 在任意平面上直接测量，无需隔震；
氧化铝针尖具有超长使用寿命，可连续成像超过 10000张。
nGauge应用方向
技术参数
nGuage AFM参数
| 最大扫描范围（XYZ） |
15umx15umx10um |
| XY扫描分辨率 |
<0.5nm |
| XYZ驱动方式 |
电热法 |
| 传感器 |
压阻 |
| 动态RMS噪声 |
<1nm |
| 成像模式 |
间断接触，动态AFM |
| 扫描速度 |
>8lines/s |
硬件参数
| 系统尺寸 |
70mmx90mmx75mm |
| 载物台尺寸（XY） |
70mmx43mm |
| Z轴行程 |
20mm |
| 驱动方式 |
步进电机 |
| 系统重量 |
450g |
| 隔震装置 |
无需额外隔震装置 |
北京培科创新技术有限公司
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