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文献和实验
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库存 :1
供应商 :德祥科技
现货状态 :国内现货
规格 :1台
品牌介绍
赛可(SEC)公司是专门从事开发生产扫描电子显微镜(SEM)与X-RAY检测设备的企业。自1991年创立以来,经过20多年的不懈努力与技术积累,已成为韩国尖端的检测设备研发制造公司。此外,核心零件的本土化与新技术的不断开发也使得SEC具备了与世界大型企业相抗衡的竞争力,成为制造业的领军者。
赛可生产研制的桌面型台式扫描电镜Mini-SEM不仅具备传统SEM的分析功能及高分辨率等性能,更以其便捷的操作性、人性化的设计以及合理的价格,被广泛应用于材料科学、生命科学、工业制造、化学化工、电子工业、环境科学、考古及司法鉴定等领域。赛可台式扫描电镜分为SNE-3000与SNE-4000两个系列,可充分满足使用者不同层次的分析需求。
韩国SEC SNE-4500M型高分辨台式扫描电镜-仪器配置
型号 |
参数 |
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SEM basic |
SNE-4500M |
分辨率:5nm,放大倍数:100,000倍,探测器:二次电子(SE),电压:1到30kv,样品台:X,Y,R,Z,T五轴/手动控制,真空:高 |
含 |
台式电脑(或笔记本电脑)/因特尔处理器,硬盘:500GB,RAM缓存:4GB |
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显示器(21.5英寸) |
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机械泵(装配;软管);SEM备用零件(灯丝,试件台,夹具,扳手……)Cable; Connecting 连接电缆 |
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SEM Additional accessories |
背散射探测器,类型:固态4通道 |
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自动轴控制 -Type: X,Y,R(3-axis)/DC Type(Basic);类型:X,Y,R(3轴)/DC型(标配) |
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EDS System EDS系统 |
element |
分辨率:129 电子伏 / 元素范围:从B 到Am, 反应区域:25mm2, C系列Si3N4窗口,软件:TEAM(频谱分析,图像,多点,线扫描,数据记录) |
图1 SNE-4500M型扫描电镜
技术参数
电子光学系统 |
分辨率 |
5nm (30kV, 二次电子成像) |
放大倍率 |
20x~100,000x |
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加速电压 |
1~30kV (1/5/10/15/20/30) |
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探测器 |
二次电子探测器(SE) |
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电子枪 |
预对中钨灯丝 |
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载台系统 |
载台运动 |
5轴系统 (X, Y, R, Z, T -手动) |
X, Y-轴: 40mm / R-轴: 360° |
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Z-轴: 0~35mm / Tilt-轴 : 0~45° |
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* 影像偏移 : ±150μm |
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最大样品尺寸 |
80mm(Φ)*35mm(H) |
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成像系统 |
自动功能 |
自动启动,自动聚焦,自动消像散,自动调节对比与亮度 |
图像格式 |
BMP, JPEG, PNG, TIFF |
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真空系统 |
真空模式 |
高真空(低真空可选) |
真空泵 |
旋转式机械泵/涡轮式分子泵(全自动) |
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尺寸与重量 |
主机 |
390(W)x380(D)x560(H)mm, 88kg |
控制单元 |
390(W)x325(D)x560(H)mm, 37kg |
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旋转泵 |
400(W)x160(D)x340(H)mm, 24kg |
EDS(elment)介绍
EDS (Energy Dispersive X-ray Spectrometer)是装载在SEM(电子显微镜)上的可以对样品表面进行成分分析的设备。电子束轰击样品表面后,可产生多种信号,EDS探测器通过检测其中的特征X-Ray,进行定性和定量分析。用户可采用线扫、面扫等模式,进行点、线、面等多区域多样的表面成分分析,并生成不同格式的结果报告。赛可所有电镜型号都可以装载EDS探测器,其搭载的袖珍EDS和大型电镜配备的EDS具有相同的性能,且不需液氮,操作快速、简便。
(a) 定性定量分析
提供快速精准的定性及定量分析结果,面,点等多领域多样的表面成分分析,如图2。
- 自动分离重叠峰值, 提供高信頼性结果。
图2 赛可台式扫描电镜EDS图谱
(b) 线扫(Line Scan)
根据使用者指定的直线来进行分析,可以明显区分各元素差异,如图3。
图3 赛可台式扫描电镜EDS线扫图
(c) 面扫(Mapping)
以不同颜色区分各元素所在区域,如图4。
图4 赛可台式扫描电镜EDS面扫图
自动轴控制
在标配的手动控制载台上搭载电动控制,可以对载台在X/Y/R三轴的移动进行自动控制,使样品移动更简单。
用户可以利用控制界面进行位置移动,在软件中双击鼠标,位置回归中心点。
图5 自动化平台
设备应用展示
晶圆 (SE/10 kV/30,000x) |
氮化镓(SE/15 kV/10,000x) |
二氧化硅(SE/20 kV/30,000x) |
氧化锌(SE/5 kV/15,000x) |
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德祥科技有限公司
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