AFC质量流量控制器

温度系数： 0.1%满量程/℃
压力系数： 0.01%满量程/psi(0.07bar)
推荐气体压力： 25 psig(1.73bar)
最大气体压力 ： 1000 psig(70bar)
气体和周围温度 ： 41℉-122℉（5℃-50℃）
接液材质 ： 316不锈钢、铜和维托圆环、氯丁橡胶圆环。
方位灵敏度 ： 水平到垂直旋转低于15度；标准校准是在水平位置
输出信号 ： 线性度0-5VDC,最小1000ohms。负载电阻4-20mA 0-500 ohms回路电阻，最大噪音±20mv
连接 ： AFM/AFC2600和AFM/AFC3600：1/4"卡套螺纹
AFM/AFC4600：3/8"卡套螺纹，可选1/8" 或3/8"卡套螺纹或1/8" VCR®
输入电源 ： AFM/AFC2600+15±5% VDC，最大80mA，1.2 w；-15±5%VDC，最大200mA，3w；
AFC3600/4600+15±5%VDC，最大220mA，2.3w；-15±5%VDC，最大600mA，9w；
电路保护 ： 电路板有内置极性保护，可更换保险丝提供电源输入保护。