1700℃真空CVD系统由高温管式炉，高真空扩散泵/分子泵系统，多通道高精度数字质量流量控制系统，自动压强控制系统等组成。可实现本底真空达0.001—0.0001Pa混合气体化学气相沉积和扩散试验。
主要功能和特点：
1、真空系统可根据使用要求选择我司扩散泵机组或分子泵机组；
2、可配合压强控制仪控制气体压力实现负压的精准控制；
3、数字质量流量控制系统是由多路质量流量计，流量显示仪等组成，实现气体的流量的精密测量和控制；
4、每条气体管路均配备高压逆止阀，保证系统的安全可靠。 5、采用水冷KF快速法兰密封，装卸方便快捷；
6、管路采用世界顶级Swagelok卡套连接，不漏气；
7、超温、过压时，自动切断加热电源及流量计进气，保证设备及实验的安全性。主要用途和适用范围：适用于真空镀膜、纳米薄膜材料制备、纳米线生长等场所。主要技术参数：
主要技术参数：
| SGL-1700 高温炉 |
控温方式 |
采用人工智能调节技术，具有PID调节、自整定功能，并可编制50段升降温程序。 |
| 加热元件 |
进口1700型优质硅钼棒 |
| 工作电源 |
AC220V 50Hz/60Hz；额定功率6kw |
| 炉管材质 |
99瓷氧化铝刚玉管 |
| 炉管尺寸 |
Φ60/80/100*/1000mm |
| 工作温度 |
≤1600℃ |
| 最高温度 |
1650℃ |
| 恒温精度 |
±1℃ |
| 升温速度 |
≤10℃/min |
| 测温元件 |
B型热电偶 |
| 密封方式 |
不锈钢水冷KF法兰挤压密封 |
| ZK 真空系统 |
|
ZK-F |
ZK-K |
| 真空范围 |
0.1-0.001Pa |
0.1-0.01Pa |
| 极限真空 |
5.0*10^-5Pa |
5.0*10^-4Pa |
| 产品配置 |
双级旋片真空泵+分子泵 |
双级旋片真空泵+扩散泵 |
| 冷却方式 |
风冷 |
水冷 |
| 抽 速 |
110L/S |
100L/S |
| 测量方式 |
复合真空计 |
| 真空规管 |
电阻规+电离规 |
| ZDC-I 压强控制系统 |
测量范围 |
1*10^5～1*10^-1 Pa |
| 稳压 (真空)范围 |
1*10^3～1*10Pa |
| 压力 (稳定精度） |
±3% |
| 控制范围 |
2.5*10^3～5*10^-1 Pa |
| 控制精度 |
± 1% |
| HQZ-Ⅲ 混气系统 |
控制方式 |
D07-7K质量流量计,D08流量显示仪 |
| 流量规格（可订制） |
0－500SCCM /0－1SLM, |
| 线 性 |
±1%F.S. |
| 准确度 |
±1%F.S. |
| 重复精度 |
±0.2%F.S. |
| 响应时间 |
≤2sec |
| 耐 压 |
3MPa |
| 气路通道 |
3通道（根据客户需求） |
| 针 阀 |
316不锈钢 |
| 管 道 |
Φ6mm不锈钢管 |
| 接 口 |
SwagelokΦ6mm |
