场发射扫描电子显微镜和能谱仪_形貌测试_SEM检测

场发射电镜可以用于采集二次电子、背散射电子等信号对各种固体材料进行的微观形貌分析，用于对材料微区成分元素种类与含量分析。

仪器技术参数

　　高真空成像分辨率：

1.0 nm @ 15 kV (SE)

1.4 nm @ 1 kV (SE)，无射束减速

电子束参数范围：

射束着陆能量：50 eV - 30 keV

探针电流：0.6 pA - 200 nA（可持续调节）

最大水平视场宽度：4.0 mm @ 5 mm WD

能谱参数：

探测面积:50mm2

输入计数率>500,000cps

采集计数率>200,000cps

Mn Kα 典型分辨率<125eV，C Kα<48eV

送样要求

粉状样品1-5g之间，能把3-5mm直接样品填满即可。块状样品不能大于5mm宽，高度小于5mm.

应用领域

1.金属、非金属及复合材料的观察分析；

2.纳米粉及纳米粉体的形貌观察和粒度测量统计；

3.微区成分的定性、定量计算，并对重点区域做元素分布图；

4.可对固体材料的表面涂层、镀层进行结合情况观察和厚度测量；

5.机械设备、压力容器、管道及汽车零件的失效分析。

适用标准

GB/T 16594-2008微米级长度的扫描电镜测量方法通则

GB/T 17362-2008 黄金制品的扫描电镜X射线能谱分析方法

启威测材料测试平台：

1、可测试的材料：金属材料、无机非金属材料、聚合物复合材料；

2、材料微观形貌和分析：FT-IR SEM EDS AFM TEM

3、材料导热系数、热机械性能分析；

4、材料粒度、密度、接触角、比表面积等物理性能表征；

5、材料光谱吸收特性分析。

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