中图激光干涉仪

中图激光干涉仪

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品牌:中图仪器

货号:SJ6000

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库存 :100

供应商 :深圳中图

现货状态 :3个月

保修期 :一年

规格 :电议

一.中图激光干涉仪功能特点
1. 测量精度高:以激光干涉技术为核心,分辨率可达纳米级;采用高精度环境补偿模块,解决了温度、空气压力、相对湿度、材料温度等环境因素对测量结果的影响;使用激光热稳频控制系统,保证激光长期稳频精度;干涉镜与主机分离设计,避免干涉镜受热变形,保证干涉光路稳定。
2. 具有实现线性、角度、直线度、垂直度等几何量的检测功能。可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备运动导轨的线性定位精度、重复定位精度等;同时也能检测运动导轨的俯仰角、扭摆角、垂直度和直线度;并可以校准机床的回转轴。
3.可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表,满足机床误差修正的要求。
4.具有动态测量(位移-时间曲线、速度-时间曲线、加速度-时间曲线)及测量振幅和频率分析的功能,可进行机床振动测量与分析,滚珠丝杆的动态特性分析,驱动系统的响应特性分析,导轨的动态特性分析等。
5. 内置国内外通用的标准,如国标(GB)、ISO(国际)、BS(英制)、美标、DIN(德标)、JIS(日标)等。可依据各种不同的机床标准分析处理数据,并可打印相应的曲线图和数据报告。
6. 可自动监测环境温度、材料温度、环境湿度和大气压力的参数。可选择手动或自动对波长进行环境补偿。
7. 测量记录采用集中式数据库管理,可按被测件类型、生产单位、出厂编号、检定员、送检单位、设备编号、检定日期和有效日期等查询和管理检定记录;可将检定数据输出到Word、Excel文档。
8. 安装方便:基本重量为15kg,简单便携。



二.中图激光干涉仪工作原理
一个角锥反射镜紧紧固定在分光镜上,形成固定长度参考光束。另一个角锥反射镜相对于分光镜移动,形成变化长度测量光束。

从激光头射出的激光光束(1)具有单一频率,标称波长为0.633µm,长期波长稳定性(真空中)优于0.05ppm。当此光束到达偏振分光镜时,被分成两束光—反射光束(2)和透射光束(3)。这两束光被传送到各自的角锥反射镜中,然后反射回分光镜中,在嵌于激光头中的探测器中形成干涉光束。

如果两光程差不变化,探测器将在相长干涉和相消干涉的两端之间的某个位置观察到一个稳定的信号。如果两光程差发生变化,每次光路变化时探测器都能观察到相长干涉和相消干涉两端之间的信号变化。这些变化(条纹)被数出来,用于计算两光程差的变化。测量的长度等于条纹数乘以激光波长的一半。

应当注意到,激光波长将取决于光束经过的空气的折射率。由于空气折射率会随着气温、压力和相对湿度的变化而变化,用于计算测量值的波长值可能需要对这些环境参数的变化进行补偿。在实践中,对于技术指标中的测量精度,只有线性位移(定位精度)测量需要进行此类补偿,在这种情况下两束光的光程差变化可能非常大。

三.中图激光干涉仪软件内置标准
数据库内置的常用标准
标准号 标准名称
ISO230-2 老版国际标准
ISO230-1997 新版国际标准
ANSI B5.54 美国国家标准
ASME B89.1.12M 美国机械工程师协会标准
NMTBA 美国机床协会标准
BS 3800 英国机床标准
BS 4656 英国三测机标准
JIS B6330 日本国家标准
GB 17421-2000 中国国家标准
VDI 3441 德国机床标准

四.中图激光干涉仪使用管理规定
1、 激光干涉仪必须定人保管,机加技术组人员专人专用,专人送检,他人不得
随意动用,以防损坏,降低精度。
2、 激光干涉仪要设置专库存放,环境要求干燥、通风、防震、防雾、防尘、防锈。仪器应保持干燥。各种仪器均不可受压、受冻、受潮或受高温,仪器箱不要靠近火炉或暖气管。
3、 对仪器要小心轻放,避免强烈的冲击震动,安置仪器前应检查三脚架的牢固性,整个作业过程中工作人员不得离开仪器,防止意外发生。
4、 激光干涉仪应避免在温度变化大、有风、潮湿环境下测量,此时检测结果将收到很大的影响。
5、 中图仪器干涉仪所配用的笔记本为专用笔记本,该笔记本不得外借,也不能安装任何其他软件,防止软件冲突和病毒,保障测量数据的准确,以防测量数据丢失。
6、 测量人员在拿取干涉仪之前,需先填写激光干涉仪使用申请单,填写申请表后,负责人需先检查干涉仪器件完整与否,器件是否良好。然后再得到部门领导签字后,方可使用激光干涉仪。对其他部门人员如借用激光干涉仪,需填写借用干涉仪使用申请单,负责人需先检查干涉仪器件完整与否,器件是否良好。然后再得到部门领导签字后,方可借用激光干涉仪。当干涉仪使用后,将要存库时,负责人必须点清器件,且所有器件良好,此时才能将干涉仪入库备案。
7、 负责人要每月对激光干涉仪的器件进行清点,并查看是否有损坏、磨损等异常情况,将检查报告予以备案。

深圳市中图仪器股份有限公司

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