高清洁真空检漏专用氦质谱检漏仪

ZXL-830D型是一款配置无油干泵的氦质谱检漏仪。适用于对高清洁的真空设备进行检漏。

1. 最小可检漏率：2×10^-12Pa·m³/s

2. 漏率显示范围：1×10^-3—1×10^-12Pa·m³/s

3. 启动时间：≤3min

4. 响应时间：≤1s

5. 检漏口的最高压力：1500Pa

6. 极限压强：5×10^-4Pa

7. 电源要求：220V，50Hz，单相，10A

8. 工作环境：5-35℃

9. 相对湿度：≤80%

10. 外形尺寸：550（W）×420（D）×700（H）

11. 重量：65kg