产品详情
文献和实验
库存 :100
保修期 :1年
德国PVA-TePla射频等离子体清洗机,腔体采用模块化设计,可以根据产品需要更换不同腔体,满足客户需要。
规格参数:
铝制/石英腔体,模块化设计,可根据产品需要,更换滚筒、粉末滚筒、垂直极板、平行极板、料盒极板、水冷极板等多种腔体结构。
13.56MHz风冷射频电源(0-600w/0-1250w可调电源)
最多6路气体
可选配液态单体操作装置
外形尺寸:737×1980×1118 mm(635×1120×1473 mm选配)
应用领域:
去除光刻胶photo-resist stripping
表面精密清洁surface precision cleaning
表面活化 surface modification
提高表面粘合性 bond strength enhancements
改变表面亲水性/疏水性 hydrophilic/hydrophobic
分子接枝 molecular grafting
涂层 plasma deposited coatings
北京哲勤科技有限公司上海办事处
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