Smart SE 智能型多功能椭偏仪

多功能性设计，配置灵活，具备多角度测量能力，可方便实现在线与离线配置切换。是一款针对单层和多层薄膜进行简单，快速，精确表征和分析的工具。

技术参数：

· 光谱范围：450-1000nm
· 多种微光斑自动选择
· 专利光斑可视技术，可观测任何样品表面
· CCD探测器
· 自动样品台尺寸：200mmX200mm；XYZ方向
· 自动调节; Z轴高度>35mm

主要特点：

· 一键式操作，直接报告输出
·液晶调制技术，测量光路中无运动部件
· CCD 探测系统，快速全谱输出
· 多个微光斑尺寸选择，专利可视技术
· 多角度测量
· 可实现在线测量配置