测厚仪的工作原理是使一束自然光经起偏器变成线偏振光，再经1/4 波长片，使它变成椭圆偏振光入射在待测的膜面上。反射时，光的偏振状态将发生变化。通过检测这种变化，便可以推算出待测膜面的某些光学参数。

《SGC-2型自动椭圆偏振测厚仪使用说明书》包括的内容有：

一、规格与主要技术指标；

二、仪器的原理和结构；

三、仪器的安装；

四、仪器校正；

五、仪器的使用和测量方法；

六、注意事项；

七、软件的使用方法；

八、仪器成套性。